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  • 平臺介紹

    青山湖微納技術研發開放平臺(以下簡稱“開放平臺”)是由浙江省人民政府與中電??导瘓F共同投資建設的一個國內先進的新型高端芯片研發中試基地。項目采用12英寸、28納米集成電路制造工藝,引進浸沒式光刻機、金屬物理氣相沉積和透射電子顯微鏡等設備,致力于建設成為國內領先、國際一流,集研發和產業化于一體的微納技術研發開放平臺。開放平臺主要面向國內從事與微納技術相關的企業、高校和科研院所,提供新型存儲器、新一代圖像傳感器等產品從技術研發到中試生產的服務。

    本開放平臺具有以下特點:

    1.???? 完備性。平臺集成了基于先進光刻工藝的芯片研發的整體設備,實現了從基片到成品的工藝完整性,擁有常規和個性化的檢測設備,適合于新型集成化電子器件的研發。

    2.???? 先進性。平臺可以實現28納米線寬的器件光刻,是國內最先進的微電子特色工藝加工開放平臺。

    3.???? 獨特性與唯一性。平臺是國內唯一、國際上也為數不多的同時具備研發與加工微電子半導體器件、自旋電子器件、傳感器等器件的技術平臺。

    4.???? 具有產品試制和小批量生產供貨的能力。平臺可以進行新型器件的研發,也可以在器件研發成功的基礎上進行中試和小批量生產,為大批量生產奠定基礎,可以縮短從研發到量產的進程。

    5.???? 具備中試和規?;慨a的無縫連接。平臺具有跟量產線無縫對接的設計、廠房、設備等,可以縮短中試轉量產的時間,減少轉移的技術風險。


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