青山湖微納技術研發平臺研發設施

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資源中心

研發設施

開放平臺占地34,235平方米，總建筑面積26,000平方米，其中100級凈化間面積2,300平方米（已使用1,760平方米，預留凈化間面積540平方米），擁有完整的動力供應系統（水、電、氣），完整的研發管理系統（運行系統、采購系統、倉儲系統、MES系統）以及研發與管理團隊等條件，可以滿足各類芯片從研發到中試的需求，該開放平臺的設備及工藝參數能夠完全轉移到量產線，實現從研發到量產的無縫對接。

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